微立体光刻精密加工系统

型号:S240

固定资产编号:S220001566

归属平台:精密设计制造技术平台

放置地点:高科创新中心A栋102-人类基因样本库

1.光学精度≤10 μm

2.加工层厚:最小加工层厚≤10 μm

3.最大加工样品尺寸:加工样品尺寸≥90×90 mm

4.二维加工最小尺寸:二维加工最小线宽≤12 μm

5.三维加工最小尺寸:三维加工最小特征尺寸≤50 μm

6.复杂结构极限加工能力:加工最小圆锥尖端≤15 μm;最小孔径≤50 μm;最小弹簧结构线径≤100 μm

7.加工材料:405 nm固化波段的通用型光敏树脂,可支持耐高温树脂(热变形温度@0.45 MPa,在140 ℃以上).高粘度树脂(最高可达20000cps@25 ℃).功能颗粒复合树脂等材料的打印

8.打印技术:采用面投影微立体光刻3D打印技术,实现超高精度微尺度3D打印,采用从上往下投影的方式,用紫外光将超精细图案投影到液态树脂表面使其固化,逐层累加从而完成产品的制作。

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